主講人簡介：

許鵬程，博士，中國科學院上海微系統與信息技術研究所傳感技術國家重點實驗室副研究員 ，碩士研究生導師。2015年入選中科院青年創新促進會（青促會），2013年起任中國電子學 會氣濕敏傳感技術專委會委員。許鵬程主要從事基于MEMS技術的微納傳感器相關研究，研 究領域涉及信息、電子、化學、材料以及儀器儀表等多門類交叉學科。有60餘篇SCI檢索論文 發表于Anal. Chem.、Small、Sensors & Actuators B、biosensors & Bioelectronics、J. Mater. Chem. A、J. Am. Chem. Soc.等期刊上，獲SCI引用1300餘次。在傳感技術頂級國際會議（包括IEEE MEMS和Transducers）發表論文30餘篇。獲授權專利10餘項。

報告摘要：

氣體傳感器是典型的生化檢測器件，其核心部分包括檢測平台和敏感材料兩部分。本報告首 先介紹微機電系統（MEMS）技術在微納傳感器制造中的發展現狀，重點介紹質量型和半導 體型兩大類氣體傳感器的集成化與微型化以及未來的發展趨勢。報告的第二部分介紹先進敏 感材料的設計、優化與傳感機理。該部分以功能化介孔材料為例，介紹高性能微質量型敏感 材料的研制及應用進展。在半導體型氣敏材料的研制方面，本報告以ZnO納米線為例，介紹 該類納米敏感材料的設計思路并探讨其氣敏機理。